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常见的真空技术有哪些?

发布时间:2022-02-16 12:45:27 点击次数:7175 次

真空镀膜设备

常见的真空技术包括:

  1. 真空获得技术:真空获得技术是实现真空环境的关键,包括机械泵、分子泵、离心泵等类型,用于产生和维持真空环境。

  2. 真空测量技术:真空测量技术是用于测量真空环境参数的技术,包括真空计、压力传感器等设备,用于监测和控制真空环境。

  3. 真空检漏技术:真空检漏技术是用于检测真空系统泄漏的技术,包括氦质谱检漏、离子泵检漏等,以确保真空系统的密封性和可靠性。

  4. 真空应用技术:真空应用技术是利用真空环境进行各种工艺和生产的技术,包括真空镀膜、真空热处理、真空包装等。

  5. 真空阀门技术:真空阀门技术是用于控制真空管道中气体流动的技术,包括各种类型的真空阀门,如球阀、蝶阀等,用于调节和控制气体流动。

  6. 气体净化技术:气体净化技术是用于去除气体中的杂质和水分的技术,包括各种气体净化装置,如活性炭吸附器、冷凝器等,以确保气体的纯度和干燥度。

  7. 蒸发沉积技术:蒸发沉积技术是利用蒸发原理将材料沉积到基底上的技术,常用于制备薄膜和涂层等。

  8. 离子注入技术:离子注入技术是将离子束注入到材料表面,以改变材料表面的性质和结构的技术,常用于材料改性和表面处理。

  9. 分子束外延技术:分子束外延技术是利用分子束在晶体表面上进行外延生长的技术,常用于制备单晶材料和超薄膜等。

  10. 离子束刻蚀技术:离子束刻蚀技术是利用离子束对材料进行刻蚀和加工的技术,具有高精度和高效率的特点。

     以上仅是一些常见的真空技术,实际上还有很多其他类型的技术和应用领域,如等离子体物理学、空间环境模拟等。

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