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干货满满真空镀膜真空蒸镀工艺流程

发布时间:2023-12-15 14:27:04 点击次数:4477 次

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国泰君安发布研究报告称,重视钙钛矿从0-1关键时期,镀膜设备享受路线快速迭代福利期。钙钛矿电池核心工艺路线未定,助力性能提升、不同于晶硅工艺的镀膜设备享受广阔空间。例如以低成本为代表的狭缝涂布设备,及以低损伤著称的镀膜类设备如真空蒸镀、RPD、ALD等。该行认为随着规模化上量,真空蒸镀机有望进一步降本。当前制膜路线尚未确定,能够制备出大面积、高效率、高良品率钙钛矿器件的涂/镀膜设备将率先占领市场。

国泰君安主要观点如下:

钙钛矿核心工艺在镀膜,短期对效率关注高于成本。

当前钙钛矿电池工艺路线尚未完全确定,核心镀膜工艺设计多样,各有优势。中短期效率提升将是钙钛矿企业第一要务,制备工真空炉体加热元件艺可参考具备相似器件结构和光电转化原理的OLED面板行业。OLED真空蒸镀工艺可直接迁移至钙钛矿电池中,有利于实现良品率高、均一性好的薄膜。由于钙钛矿电池对真空蒸镀精度要求更低、所需工序更少、气密性要求低,结构简单,价格将远低于OLED用真空蒸镀设备。随着规模化上量,真空蒸镀机有望进一步降本。当前制膜路线尚未确定,能够制备出大面积、高效率、高良品率钙钛矿器件的涂/镀膜设备将率先占领市场。

远期高性价比优势显著,降本路径参考HJT工艺。

受钙钛矿器件特质影响,其对成本控制更加敏感,远期钙钛矿行业将追求极致的性价比,从投资到生产需要全面降本。HJT工艺通过多层功能层沉积制备,且同主流晶硅路线较难迁移,真空炉体加热元件可以HJT行业的投资额下降路径为参考考虑钙钛矿器件降本空间。随着钙钛矿电池GW级规模起量,投资成本有望降低至当前1/2以上,而单机产能提升及核心零部件国产替代后,预计将为钙钛矿产业提供更大降本可能。

重视钙钛矿从0-1关键时期,镀膜设备享受路线快速迭代福利期。

钙钛矿电池核心工艺路线未定,助力性能提升、不同于晶硅工艺的镀膜设备享受广阔空间。例如以低成本为代表的狭缝涂布设备,及以低损伤著称的镀膜类设备如真空蒸镀、RPD、ALD等。真空蒸镀设备从OLED产业迁移,OLED领域龙头基础牢固。RPD、ALD、PVD等设备以广泛应用于晶硅光伏行业,光伏设备龙头具备先发优势。

激光策略类似薄膜电池,高价值量高标真空炉体加热元件准吸引优质厂商入局。

受钙钛矿柔性材料特质影响,钙钛矿电池需要通过激光划线实现串联,因此所需4道激光工艺最为确定。百兆瓦级激光设备价值量约1000万元。由于钙钛矿电池对激光刻蚀精度远高于晶硅电池,刻蚀尺度在几十纳米,更类似于薄膜电池、半导体行业刻蚀,前期具备高精度激光刻蚀行业供货能力的厂商更具竞争力。

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