真空阀门是指阀门内腔为真空状态，通常叫负压，内腔压力低于大气压，用于真空管道系统的阀门，有真空球阀，真空蝶阀，真空隔膜阀等。介质为高纯度。

球阀、闸阀、截止阀等等均能生产成真空阀和普通常规阀门。从外形上无区别，在阀门连接部位设计上是有分别的，只是细节上的问题。

真空阀门相对于正压阀门具有下列特点：

压力低于大气压，而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米2。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70 ~ +150℃的范围。

对这类阀门最基本的要求是保证连接的高度密封性和结构与垫片材料的致密性。

按介质压力真空阀门可分成四组：

1）低真空阀门：介质压力p=760~1毫米汞柱；

2）中真空阀门：p真空镀膜=1×10-3 毫米汞柱。

3）高真空阀门：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱；

4）超高真空阀门：p≤1×10-8 毫米汞柱。

真空阀门广泛采用的的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。闸阀却受到较大的限制，但大通径来说，可用的还有球阀、柱塞阀和蝶阀。

真空阀门的种类繁多，且在真空系统中起着重要作用，通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类，有以下五种常见的真空阀门连接形式。

1、法兰连接

这是阀门中用得最多的连接形式。按结合面形状又可分为以下几种：

1)光滑式：用于压力不高的阀门。加工比较方便

2)凹凸式：工作压力较高，可使用中硬垫圈

3)榫槽式：可用塑性变形较大的垫圈，在腐蚀性介质中使真空镀膜用较广泛，密封效果较好。

4)梯形槽式：用椭圆形金属环作垫圈，使用于工作压力≥64公斤/平方厘米的阀门，或高温阀门。

5)透镜式：垫圈是透镜形状，用金属制作。用于工作压力≥100公斤/平方厘米的高压阀门，或高温阀门。

6)O形圈式：这是一种较新的法兰连接形式，它是随着各种橡胶O形圈的出现，而发展起来的，它在密封效果上比一般平垫圈可靠。

2、螺纹连接

这是一种简便的连接方法，常用于小阀门。又分两种情况：

1)直接密封：内外螺纹直接起密封作用。为了确保连接处不漏，往往用铅油、线麻和聚四氟乙烯生料带填充；其中聚四氟乙烯生料带，使用日见广泛；这种材料耐腐蚀性能很好，密封效果极佳，使用和保存方便，拆卸时，可以完整地真空镀膜将其取下，因为它是一层无粘性的薄膜，比铅油、线麻优越得多。

2)间接密封：螺纹旋紧的力量，传递给两平面间的垫圈，让垫圈起密封作用。

3、卡套连接

卡套连接，在我国近年才发展起来，它的连接和密封原理是，当旋紧螺母时，卡套受到压力，使其刃部咬入管子外壁，卡套外锥面又在压力下与接头体内锥面密合，因而能够可靠地防止泄漏。

这种连接形式的优点是：

1)体积小，重量轻，结构简单，拆装容易；

2)连接力强，使用范围广，可耐高压(1000公斤/平方厘米)、高温(650℃)和冲击振动；

3)可以选用多种材料，适合防腐蚀；

4)加工精度要求不高；

5)便于高空安装。

目前，卡套连接形式，已在我国某些小口径阀门产品中采用。

4、卡箍连接真空镀膜

这是一种快速连接方法，它只需两个螺栓，适用于经常拆卸的低压阀门。

5、内自紧连接

以上各种连接形式，都是利用外力来抵消介质压力，实现密封的。下面介绍利用介质压力进行自紧的连接形式。它的密封圈装在内锥体处，跟介质相向的一面成一定角度，介质压力传给内锥体，又传递给密封圈，在一定角度的锥面上，产生两个分力，一个与阀体中心线平行向外，另一个压向阀体内壁。后面这个分力便是自紧力。介质压力愈大，自紧力也愈大。所以这种连接形式，适合于高压阀门。它比法兰连接，要节省许多材料和人力，但也需要一定的预紧力，以便在阀内压力不高时，使用可靠。

利用自紧密封原理做成的阀门，一般是高压阀门。

阀门连接的形式还很多，例如有的不必拆真空镀膜除的小阀门，跟管子焊接在一起；有的非金属阀门，采用承插式连接，等等。阀门使用者要根据具体情况具体对待。