真空腔体可以创造并维持一个特定且受控的真空环境,这样可以在其中进行各种需要低气压或真空条件下的工艺或实验。
例如金属冶炼、真空镀膜、真空炉等。
真空腔体主要有以下几种类型
一、实验室用真空腔体:这种真空腔体通常用于实验室中的各种实验,如材料科学、物理、化学等。其特点是体积较小,结构紧凑,易于操作和维护。
二、工业生产用真空腔体:这种真空腔体主要用于工业生产过程中,如半导体制造、太阳能电池制造等。其特点是体积较大,结构牢固,能够承受较大的压力和温度变化。
三、简单真空腔体:这种真空腔体结构简单,主要由一个密闭的金属腔体组成,能够维持一定的真空度。
四、复杂真空腔体:这种真空腔体结构较为复杂,通常由多个腔体组成,具有较高的精度和稳定性,能够满足特定工艺或实验的需求。
五、接触式密封真空腔体:这种真空腔体采用接触式密封方式,能够有效地隔绝外部环境,保持内部的真空状态。