原标题：SEMICON China 2023展商特写：可信赖的半导体真空泵工艺专家Edwards

在科技高速发展的今天，信息技术已经渗透到我们生活的方方面面。而半导体芯片，作为各种新兴技术快速发展的核心支撑，其重要的基石作用也已经被大家所认知。芯片的性能和可靠性直接影响着整个信息社会的运转和发展，同时也成为各个国家和企业竞争力的重要标志。

基于WSTS的今年6月份发表的数据，2022年全球半导体市场销售额达到了史无前例的5741亿美元，今年，经历一波短暂的调整之后，预计2024年，整个市场将达到5760亿美元。从而再次攀登到一个新的高度。

数据来源：WSTS数据整理2023.6

纵观国内，新一代的信息腔体加工技术产业已被定义为支撑国民经济的战略性、基础性和先导性产业。在各个应用层面的巨大需求推进下，对于芯片的需求也越来越大，中国正消耗着世界约三成的半导体芯片。中国有巨大的市场，需要属于自己的芯片供应能力，已经成为了共识。由此，也给国内企业带来了巨大的发展机会。

数据来源：中国半导体行业协会 2023.3

数据来源：中国海关 2023.3

近几年，围绕芯片产业的建设始终没有停止过，但由于多方面的原因，国内的芯片产业相较于世界主流来说还是有着相当大的差距。半导体产业的特殊性，使其注定不同于我们传统的制造业，它是由一个个基础，成熟的产业累积叠加而构成的复合型产业，其供应链构成极为复杂，它涉及到高精度、高纯度的腔体加工材料和极其精密的加工工艺。除了对于各应用科学领域的苛刻要求，半导体还涉及到化学，光学，物理学等等基础类理论学科。可以这么说，半导体产业是人类在各个工业和学术领域里最高水平结合而成的极致的复合产业。

子系统和零配件的重要性

构成半导体产业的，是一个个子系统，乃至零部件个体本身的水准累积。期间，精密零配件在半导体产业中扮演着至关重要的角色，它们是实现半导体器件高精度制造和可靠性的关键组成部分。高质量的子系统在最大程度上决定了半导体项目的水准。

半导体产业用到的子系统和零配件牵涉面很广，主要有“定制件”和“成品件”两大类。“定制件”是指晶圆厂和设备厂按照自己的要求向供应商定制化采购的零配件，这主要涉及“石腔体加工英件，金属加工件，陶瓷件，硅加工件，氟材料件”等产品。而“成品件”则是“泵，阀，电源，控制，计量，光源”等由一系列由系统厂商组装完成，符合半导体产业规格和要求的系统和单元。

基于VLSI Research统计的半导体相关制造业关键子系统的 顶级供应商名单。从销售额上来看，近10年来供应商的前几位， 差不多都被光学系、真空泵、阀门厂家牢牢占据。

真空泵在半导体产业中的使用

资料来源：公开数据，北京诺拓信息咨询有限公司

《真空泵行业市场调研分析及投资预测研究报告》

从整个真空市场来看，真空泵作为一个通用系统，在半导体产业中的使用量是相当大的。

在半导体生产过程中，真空环境非常普遍，半导体用真空泵作为不可或缺的利器腔体加工，正发挥着无可替代的作用。而很多生产设备，检测步骤对于真空又有着极高的要求，它们在物理气相沉积（PECVD）、化学气相沉积（CVD）、离子注入（Ion Implantation），检测（Inspection），乃至EUV极紫外光刻等关键工艺步骤中扮演着关键角色。用在这个领域的真空泵产品，因为对于精度，耐久性，洁净度等各方面的严苛要求，又不同于面向传统行业的产品。通过创造高度纯净的真空环境，真空泵的好坏，直接影响到半导体生产中的产品质量和可靠性。然而，随着半导体产业的发展，对于真空泵要求已经远不止于此。技术的不断创新和进步使得真空泵具备更高的效率、更低的能耗，推动了半导体产业向着更加可持续和环保腔体加工的方向发展。

虽说是通用系统，但目前世界上能提供这个规格产品的厂家数量并不多，主要集中在欧洲和日本的供应商。最近几年国内厂家在这方面也相当努力，已经出现了几家优秀的制造商，但整体水准和国际主流供应商相比还是存在着一定的差距。

无论是产品水准还是市场份额，目前欧洲的厂商都占据了相当大的优势。其中，总部位于英国的Edwards无疑是半导体产业真空产品的领导公司。

2021 年全球半导体真空泵市场竞争格局

资料来源: 华经产业研究院，浙商证券研究所整理

目前，合并Edwards之后的Atlas在全球半导体真空泵市场份额接近一半。

数据来源：VLSI research，Edwards

单位：百万美元 *包括干泵+分腔体加工子泵

从全球市场上看，Edwards真空泵销售额已经达到了10亿美元规模。

Edwards（埃地沃兹）成立于1919年，是一家历史超过百年的跨国公司，公司于2014年加入了瑞典Atlas Copco集团（成立于1873年，全球员工超过39000人）。是全球领先的真空设备、尾气处理系统和相关增值服务的开发商和制造商，公司的产品和服务在半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造流程中不可或缺，被应用于日益多样化的工业生产过程中。

Edwards公司全球员工超过6250人（其中服务人员超过2000人，研发团队超过700人），秉承全球化和本土化的发展理念，Edwards在英国，美国，捷克，日本，韩国和中国腔体加工青岛都设立了工厂，目前全球各地有29家销售和服务公司。在半导体行业的客户覆盖了Intel，TSMC，UMC，三星，Mircon, Kioxia等大部分主流晶圆厂。

强大的技术背景

因为EUV光刻机对工作环境的要求极为严苛，空气及几乎所有的材料均对EUV光具有强烈的吸收作用，导致EUV光刻机内部工作环境必须是超清洁真空。差不多10年前，Edwards就已经参与到EUV光刻机研发项目中，为EUV光刻机提供真空和氢气排放的解决方案。现今，Edwards的设备已经作为ASML EUV光刻机的附属设备，安装在世界各地的顶尖晶圆制造公司，24小时为极紫外光刻提供稳定可靠的工作环境。

正因为有这样尖端技术的支撑，腔体加工Edwards在半导体真空领域得以保持多年的领先。

LOCAL for LOCAL，

服务中心→生产基地→研发中心→高校合作……

不同于国外一些高科技公司的保守做法，Edwards的“LOCAL for LOCAL”不仅仅是一句口号，而是真正成为了公司海外发展的一个指向标。目前Edwards在中国的员工数已经超过700 名。深度本土化发展，已经让本地员工比例超过98%，本地员工年度人均培训时间超过40 小时。

如今，Edwards在中国市场的年销售额已经超过45 亿元人民币，且连续五年保持复合增长率两位数增长。中国市场已经成为公司全球第一大业务中心。而国内半导体客户已经覆盖了主流的Foundry，闪存腔体加工，DRAM生产商，以及一些新建的重点功率半导体生产项目。

Edwards上海公司成立于1998年，公司中国总部位于张江，主要从事真空泵系统制造和组装等业务。随着业务规模的不断扩大，为了更有效利用外高桥的物业资源，发挥保税区综合优势，Edwards上海公司将其产品制造板块转移至青岛，将外高桥基地的功能定位于零配件仓储分拨中心及产品培训中心，从而逐步发展成为营运总部企业。

目前，Edwards已经在上海（华东），廊坊（华北），深圳（华南），西安（中西部）分别设立了服务中心。各个中心除了做到基本的客户维保对应以外，更是配备了人员培训，备件储存，设备升级再造等多方面的功能。从而做到全时点，全覆盖地满足于客腔体加工户多样化的需求。

2015年9月，青岛工厂正式投入生产，2018年10月，工厂二期开业。目前的青岛工厂占地 71 亩，建筑面积近 3 万平方米， 拥有约年产6000 台半导体真空泵，9000 台工业真空泵/系统的生产能力。现在青岛工厂年产值已经超过13亿人民币，其产品更是销往全球四大洲，十多个国家和地区。

随着中国半导体产业的高速发展，产品研发的需求也日渐迫切，在上海自贸区管委会等各有关部门的大力支持和协助下，2019年8月，Edwards将其中国首个研发中心落户于外高桥新发展园区。此前Edwards在全球已有5个研发中心，分布在英国、美国、 日本和韩国等地，此次的中国区研发中心将是其在亚洲的第三腔体加工个研发中心，占地面积约 3000 平方米。而且配备有实际气体实验的条件，用于满足设计方案的验证。

人才是万物的根本，是企业发展的核心资源，Edwards在中国本地积极推进校企合作。Edwards（埃地沃兹贸易(上海)有限公司）通过和“复旦大学微电子学院”成立“Edwards 高真空奖助学金”，从2020年起连续10年向上海复旦大学教育发展基金会捐资合计200万元人民币，用于帮助微电子学院奖励优秀学生，资助家庭经济困难学生，并支持前沿科技研发项目。

此外，Edwards还同“上海大学”，“上海海事大学”等知名高校建立了合作关系，推进学术交流与合作。深化双方在人才培养和技术研发等各方面的交流与合作，从腔体加工人才方面共同推动中国半导体产业向前发展。